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代加工多晶硅还原炉_dxb.120ask.com

代加工多晶硅还原炉

多晶硅还原炉简介:

公司专业生产加工多晶硅还原炉是用于生产多晶硅主流技术路线“改良西门子北京癫痫病医院哪里好法――闭环式三氯氢硅氢还原法”中进行CVD反应生产高纯多晶硅的主体设备。

我们目前开发的多晶硅还原炉是钟罩式12对棒还原炉,主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成。

炉体原发性癫痫能完全治好吗主体采用不锈钢材质 SUS3癫痫病人的寿命会短吗16L且进行抛光处理(增强炉内热量漫反射,减少热辐射,节省能源),以减少设备材质对产品的污染。

炉体外夹套采用不锈钢材质SUS304,用来通冷却水或导热油,带走反应放出的热量。

底盘采用不锈钢材质SUS316L,底盘也有夹层,用来通入冷却水,以保护密封垫圈。电极由导电性能较好的优质紫铜材料制成,经过特殊济南癫痫病医院排名设计、工艺处理,内部通过冷却水进行冷却,电极与载体用石墨夹头进行连接。

混和气进气管分为9个喷口(其中8个喷口均匀的设置在底盘上),在还原炉底盘上分二个圆周均匀布置12对电极,最外一周布置8对电极,最内一周布置4对电极,该种设计使还原炉内部结构布局合理,单台炉每批次产量较现有还原炉有大幅度的提升,多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。

本公司经营多晶硅还原炉,质量保证,欢迎咨询洽谈。在线QQ653625283。


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